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微波等离子体化学气相沉积方法在Si衬底上生长SiC纳米线

胡颖

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微波等离子体化学气相沉积方法在Si衬底上生长SiC纳米线

胡颖

SiC NANOWIRES GROWN ON SILICON(100) WAFER BY MPCVD METHOD

HU YING
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-05-20
  • 修回日期:  2001-07-05
  • 刊出日期:  2001-06-05

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