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不同CHF3/CH4流量比下沉积a-C∶F∶H薄膜键结构的红外分析

陆新华 辛煜 宁兆元 甘肇强 方亮 程珊华

不同CHF3/CH4流量比下沉积a-C∶F∶H薄膜键结构的红外分析

陆新华, 辛煜, 宁兆元, 甘肇强, 方亮, 程珊华
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-05-05
  • 修回日期:  2001-07-02
  • 刊出日期:  2001-06-05

不同CHF3/CH4流量比下沉积a-C∶F∶H薄膜键结构的红外分析

  • 1. (1)苏州大学化学系,苏州215006; (2)苏州大学物理系,苏州215006

摘要: 通过微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积方法使用CH4/CHF3源气体制备a-C∶F∶H薄膜.红外结果表明,a-C∶F∶H薄膜随着流量比R=[CHF3]/[CHF3]+[CH4])的变化存在结构上的演变,R64%时,薄膜表现为一个类聚四氟乙烯(PTFE)的结构,结构单体主要为CF2.同时这种结构上的变化影响着薄膜

English Abstract

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