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溶胶-凝胶VO2薄膜转换特性研究

李金华 袁宁一 林成鲁

溶胶-凝胶VO2薄膜转换特性研究

李金华, 袁宁一, 林成鲁
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-08-13
  • 修回日期:  2001-09-19
  • 刊出日期:  2002-04-20

溶胶-凝胶VO2薄膜转换特性研究

  • 1. (1)江苏石油化工学院信息科学系功能材料实验室,常州213016; (2)江苏石油化工学院信息科学系功能材料实验室,常州213016中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050; (3)中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室,上海200050
    基金项目: 

    中国科学院上海冶金研究所离子束开放实验室资助的课题~~

摘要: 利用溶胶凝胶法在SiO2Si衬底上沉积高取向的V2O5薄膜,在压强低于2Pa,温度高于400℃的条件下,对V2O5薄膜进行真空烘烤,获得了电阻率变化3个数量级以上、弛豫宽度为62℃的VO2多晶薄膜.以X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)图和电阻率转换特性等实验结果为依据,详细分析了溶胶凝胶薄膜在真空烘烤时从V2O5向VO2的转化,它经历了从VnO2n+1(n=2,3,4,6)到VO2的过程.实验证明,根据选择合适的成膜热处理条件和真空烘烤条件是实现溶胶凝胶V2O5结构向VO2结构成功转换的关键

English Abstract

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