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中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量

黄文忠 李英骏 谷渝秋 张 杰 尤永禄 淳于书泰 何颍玲 雷安乐 陈正林 马月英 金春水

中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量

黄文忠, 李英骏, 谷渝秋, 张 杰, 尤永禄, 淳于书泰, 何颍玲, 雷安乐, 陈正林, 马月英, 金春水
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-12-18
  • 修回日期:  2002-09-12
  • 刊出日期:  2003-02-05

中心波长为28.5nm多层膜镜反射率测量

  • 1. (1)中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳 621900; (2)中国工程物理研究院激光聚变研究中心,绵阳 621900;中国科学院物理研究所,北京 100080; (3)中国科学院长春光学精密机械和物理研究所,长春 130022; (4)中国科学院物理研究所,北京 100080; (5)中国科学院物理研究所,北京 100080;中国矿业大学物理系(北京校区),北京 100083
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:19974074和6018007)、国家高技术研究发展计划资助的课题

摘要: 在“星光-Ⅱ”装置上以类Ne铬x射线激光作为标定源,以平场光栅谱仪为分光元件进行了285nm的Mo/Si多层膜反射镜效率测量.介绍了实验方法,给出了实验结果,本次研制的两块多层膜镜反射率分别为31%和9.6%.

English Abstract

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