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用完全非共振光驻波聚焦原子制作纳米结构分析

陈献忠 姚汉民 陈旭南

用完全非共振光驻波聚焦原子制作纳米结构分析

陈献忠, 姚汉民, 陈旭南
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  • 用完全非共振激光驻波场对热原子束实现纳米量级的聚焦,可以降低原子光刻试验的难度. 用蒙特卡罗算法和轨迹模拟法分析原子源对原子聚焦的影响,结果表明靶的有效尺寸对纳米 图形线宽的影响远大于原子束的发散角和原子的纵向速度分布. 提出几种改进试验的方法.
    • 基金项目: 中国科学院知识创新工程项目(批准号:A2K0009)和开放基金资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-01-31
  • 修回日期:  2004-09-30
  • 刊出日期:  2005-03-05

用完全非共振光驻波聚焦原子制作纳米结构分析

  • 1. 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都 610209
    基金项目: 

    中国科学院知识创新工程项目(批准号:A2K0009)和开放基金资助的课题.

摘要: 用完全非共振激光驻波场对热原子束实现纳米量级的聚焦,可以降低原子光刻试验的难度. 用蒙特卡罗算法和轨迹模拟法分析原子源对原子聚焦的影响,结果表明靶的有效尺寸对纳米 图形线宽的影响远大于原子束的发散角和原子的纵向速度分布. 提出几种改进试验的方法.

English Abstract

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