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PED沉积La-Sr-Cu-O薄膜表面的有序纳米结构

陈雷明 李培刚 符秀丽 张海英 李玲红 唐为华

PED沉积La-Sr-Cu-O薄膜表面的有序纳米结构

陈雷明, 李培刚, 符秀丽, 张海英, 李玲红, 唐为华
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  • 采用脉冲电子束沉积(PED)技术在Si(100)衬底上生长La_Sr_Cu_O薄膜,在750℃生长温度下获得具有有序纳米结构的表面形貌.采用聚集离子束(FIB)技术对获得的纳米结构进行表征,结果表明,这种有序的纳米结构是由于Si衬底和La_Sr_Cu_O薄膜之间的热膨胀系数和晶格的 失配引起的纳米裂纹.在这些纳米裂纹处,La_Sr_Cu_O成核生长获得独立的纳米线.通过控制 这种有序的纳米结构的生长,这种有序的纳米结构可以用来构造弱连接形成的器件.
    • 基金项目: 中国科学院百人计划资助项目,国家自然科学基金创新研究群体(批准号:60321001)资助的 课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-09-30
  • 修回日期:  2004-11-12
  • 刊出日期:  2005-03-05

PED沉积La-Sr-Cu-O薄膜表面的有序纳米结构

  • 1. (1)Department of Physics,University of Rhode Island,Kingston RI02881,USA; (2)浙江理工大学物理系,杭州 310018,中国; (3)浙江理工大学物理系,杭州 310018,中国;中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京 100080,中国; (4)中国科学院物理研究所,北京凝聚态物理国家实验室,北京 100080,中国
    基金项目: 

    中国科学院百人计划资助项目,国家自然科学基金创新研究群体(批准号:60321001)资助的 课题.

摘要: 采用脉冲电子束沉积(PED)技术在Si(100)衬底上生长La_Sr_Cu_O薄膜,在750℃生长温度下获得具有有序纳米结构的表面形貌.采用聚集离子束(FIB)技术对获得的纳米结构进行表征,结果表明,这种有序的纳米结构是由于Si衬底和La_Sr_Cu_O薄膜之间的热膨胀系数和晶格的 失配引起的纳米裂纹.在这些纳米裂纹处,La_Sr_Cu_O成核生长获得独立的纳米线.通过控制 这种有序的纳米结构的生长,这种有序的纳米结构可以用来构造弱连接形成的器件.

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