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超深亚微米PMOSFET的自愈合效应

李 晶 刘红侠 郝 跃

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超深亚微米PMOSFET的自愈合效应

李 晶, 刘红侠, 郝 跃

Study on self-healing effect in ultra deep submicron PMOSFET’s

Li Jing, Liu Hong-Xia, Hao Yue
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-08-08
  • 修回日期:  2005-10-27
  • 刊出日期:  2006-05-20

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