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用于位移传感器的全息平面变间距光栅设计与制作研究

楼 俊 付绍军 徐向东 何世平

用于位移传感器的全息平面变间距光栅设计与制作研究

楼 俊, 付绍军, 徐向东, 何世平
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  • 简述了全息变间距光栅的几何理论.利用遗传算法对记录光路进行了优化计算,提出在目标函数中考虑记录参数误差的影响,推导了目标函数的积分形式,提高了计算效率.针对用于位移传感器的平面变间距光栅,分别计算了球面波干涉及球面波与非球面波干涉情况下的全息记录参数,给出了线密度误差曲线.制作出全息平面变间距光栅,并成功应用于位移传感器中.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:50375149,10272098)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-09-24
  • 修回日期:  2006-06-28
  • 刊出日期:  2006-06-05

用于位移传感器的全息平面变间距光栅设计与制作研究

  • 1. (1)中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 合肥 230029; (2)中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 合肥 230029;中国计量学院光电子技术研究所,杭州 310018; (3)中国科学技术大学力学和机械工程系,合肥 230029
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:50375149,10272098)资助的课题.

摘要: 简述了全息变间距光栅的几何理论.利用遗传算法对记录光路进行了优化计算,提出在目标函数中考虑记录参数误差的影响,推导了目标函数的积分形式,提高了计算效率.针对用于位移传感器的平面变间距光栅,分别计算了球面波干涉及球面波与非球面波干涉情况下的全息记录参数,给出了线密度误差曲线.制作出全息平面变间距光栅,并成功应用于位移传感器中.

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