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局域环境中微波等离子体电子密度诊断实验研究

杨 涓 许映乔 朱良明

局域环境中微波等离子体电子密度诊断实验研究

杨 涓, 许映乔, 朱良明
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  • 为了研究局域真空环境中微波等离子体喷流电子数密度的分布规律及其影响因素,利用发射/郎缪尔探针测量等离子体的空间电位,再测量等离子体的电流-电压特性曲线,根据空间电位测量结果,在等离子体的电流-电压特性曲线上能准确地获取饱和电流,从而处理出电子数密度.最后的诊断实验表明:在有约束边界条件下,微波等离子体发生器以60 W以下的微波功率击穿流量范围是21—105 mg/s的氩气时,所产生的喷流中电子数密度分布在8.8×1014—7.53×1016/m3
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:10575081,90716019)和航空基金(批准号:2006ZA53005)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-04-27
  • 修回日期:  2007-06-05
  • 刊出日期:  2008-03-20

局域环境中微波等离子体电子密度诊断实验研究

  • 1. 西北工业大学航天学院,西安 710072
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10575081,90716019)和航空基金(批准号:2006ZA53005)资助的课题.

摘要: 为了研究局域真空环境中微波等离子体喷流电子数密度的分布规律及其影响因素,利用发射/郎缪尔探针测量等离子体的空间电位,再测量等离子体的电流-电压特性曲线,根据空间电位测量结果,在等离子体的电流-电压特性曲线上能准确地获取饱和电流,从而处理出电子数密度.最后的诊断实验表明:在有约束边界条件下,微波等离子体发生器以60 W以下的微波功率击穿流量范围是21—105 mg/s的氩气时,所产生的喷流中电子数密度分布在8.8×1014—7.53×1016/m3

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