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局域环境中微波等离子体电子密度诊断实验研究

杨 涓 许映乔 朱良明

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局域环境中微波等离子体电子密度诊断实验研究

杨 涓, 许映乔, 朱良明

Diagnostic study on the electron density distribution of microwave plasma jet in local vacuum environment

Yang Juan, Xu Ying-Qiao, Zhu Liang-Ming
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-04-27
  • 修回日期:  2007-06-05
  • 刊出日期:  2008-03-20

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