搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

射频感应耦合Ar-N2等离子体物理特性的Langmuir探针测量及理论研究

高 飞 毛 明 丁振峰 王友年

射频感应耦合Ar-N2等离子体物理特性的Langmuir探针测量及理论研究

高 飞, 毛 明, 丁振峰, 王友年
PDF
导出引用
  • 分别通过Langmuir探针测量和动力学模型模拟方法研究了射频感应耦合Ar-N2等离子体中电子能量分布、电子温度、电子密度等物理量随N2含量的变化规律.实验研究结果表明:电子能量分布呈现出非Maxwell型分布,并由双温分布向三温分布过渡;电子温度在不同的气压下随N2含量的增加呈现出不同的变化规律.在放电气压小于1.3 Pa时,电子温度随N2含量的增加而下降;当气压大于1.3 Pa时,电子温度随N2
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:10635010)资助的课题.
  • 引用本文:
    Citation:
计量
  • 文章访问数:  4426
  • PDF下载量:  946
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2007-09-17
  • 修回日期:  2008-02-19
  • 刊出日期:  2008-04-05

射频感应耦合Ar-N2等离子体物理特性的Langmuir探针测量及理论研究

  • 1. 大连理工大学物理与光电工程学院,三束材料改性国家重点实验室,大连 116024
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10635010)资助的课题.

摘要: 分别通过Langmuir探针测量和动力学模型模拟方法研究了射频感应耦合Ar-N2等离子体中电子能量分布、电子温度、电子密度等物理量随N2含量的变化规律.实验研究结果表明:电子能量分布呈现出非Maxwell型分布,并由双温分布向三温分布过渡;电子温度在不同的气压下随N2含量的增加呈现出不同的变化规律.在放电气压小于1.3 Pa时,电子温度随N2含量的增加而下降;当气压大于1.3 Pa时,电子温度随N2

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回