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Ag掺杂p型ZnO薄膜及其光电性能研究

王经纬 边继明 孙景昌 梁红伟 赵涧泽 杜国同

Ag掺杂p型ZnO薄膜及其光电性能研究

王经纬, 边继明, 孙景昌, 梁红伟, 赵涧泽, 杜国同
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  • 采用超声喷雾热分解法在石英衬底上以醋酸锌水溶液为前驱体,以硝酸银水溶液为Ag掺杂源生长了Ag掺杂ZnO(ZnO:Ag)薄膜.研究了衬底温度对所得ZnO:Ag薄膜的晶体结构、电学和光学性质的影响规律.所得ZnO:Ag薄膜结构良好,在室温光致发光谱中检测到很强的近带边紫外发光峰,透射光谱中观测到非常陡峭的紫外吸收截止边和较高的可见光区透过率,表明薄膜具有较高的晶体质量与较好的光学特性.霍尔效应测试表明,在500℃下获得了p型导电的ZnO:Ag薄膜,载流子浓度为5.30×1015cm
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:50532080,60576054)、高等学校博士学科点专项科研基金(批准号:20070141017)和辽宁省自然科学基金(批准号:20072178)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-12-14
  • 修回日期:  2008-02-27
  • 刊出日期:  2008-04-05

Ag掺杂p型ZnO薄膜及其光电性能研究

  • 1. 大连理工大学物理与光电工程学院,三束材料改性国家重点实验室,大连 116024
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:50532080,60576054)、高等学校博士学科点专项科研基金(批准号:20070141017)和辽宁省自然科学基金(批准号:20072178)资助的课题.

摘要: 采用超声喷雾热分解法在石英衬底上以醋酸锌水溶液为前驱体,以硝酸银水溶液为Ag掺杂源生长了Ag掺杂ZnO(ZnO:Ag)薄膜.研究了衬底温度对所得ZnO:Ag薄膜的晶体结构、电学和光学性质的影响规律.所得ZnO:Ag薄膜结构良好,在室温光致发光谱中检测到很强的近带边紫外发光峰,透射光谱中观测到非常陡峭的紫外吸收截止边和较高的可见光区透过率,表明薄膜具有较高的晶体质量与较好的光学特性.霍尔效应测试表明,在500℃下获得了p型导电的ZnO:Ag薄膜,载流子浓度为5.30×1015cm

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