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调制自由载流子吸收测量半导体载流子输运参数的三维理论

李斌成 张希仁 刘显明

调制自由载流子吸收测量半导体载流子输运参数的三维理论

李斌成, 张希仁, 刘显明
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-10-23
  • 修回日期:  2008-05-26
  • 刊出日期:  2008-11-20

调制自由载流子吸收测量半导体载流子输运参数的三维理论

  • 1. (1)中国科学院光电技术研究所,成都 610209; (2)中国科学院光电技术研究所,成都 610209;中国科学院研究生院,北京 100049
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60676058),四川省青年科技基金资助的课题.

摘要: 推导出用于测量半导体载流子输运特性(载流子寿命、载流子扩散系数和前表面复合速度)的调制自由载流子吸收(modulated free carrier absorption, MFCA)检测技术的三维理论模型,给出了调制自由载流子吸收检测信号与调制频率和抽运-探测光相对距离的关系.定性分析了在不同调制频率时各个载流子输运参数对径向位置扫描曲线(信号与两束光相对距离的关系)的影响,结果表明调制自由载流子吸收检测信号对各个参数的灵敏度随抽运-探测光相对距离的增加而增加.仿真和实验结果表明,通过拟合不同调制频率时调

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