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在蓝宝石上生长CeO2 缓冲层的原位双温工艺法及Tl-2212薄膜的技术改进

谢清连 王争 黄国华 王向红 游峰 季鲁 赵新杰 方兰 阎少林

在蓝宝石上生长CeO2 缓冲层的原位双温工艺法及Tl-2212薄膜的技术改进

谢清连, 王争, 黄国华, 王向红, 游峰, 季鲁, 赵新杰, 方兰, 阎少林
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  • 报道了在蓝宝石衬底上制备CeO2缓冲层的原位双温工艺法及其对Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212)薄膜超导特性的影响.XPS和AFM测试结果表明,采用原位双温工艺法制备缓冲层,具有工艺简单,薄膜表面光滑,衬底材料原子扩散量少等特点.在先驱膜的高温后退火过程中,40 nm厚的CeO2薄膜就能有效地阻挡衬底材料对超导薄膜底层的扩散.随后制备厚度为530 nm的Tl-2212
    • 基金项目: 国家重点基础研究发展计划(973)项目(批准号:2006CB601006),国家高技术研究发展计划(863)新材料领域(批准号:2006AA03Z213)和广西高校优秀人才资助计划项目(批准号:RC2007024)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-02-17
  • 修回日期:  2009-04-01
  • 刊出日期:  2009-11-20

在蓝宝石上生长CeO2 缓冲层的原位双温工艺法及Tl-2212薄膜的技术改进

  • 1. (1)广西师范学院物理与电子工程学院, 南宁 530001; (2)广西师范学院物理与电子工程学院, 南宁 530001;南开大学信息技术科学学院电子信息科学与技术系,天津 300071; (3)南开大学信息技术科学学院电子信息科学与技术系,天津 300071
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展计划(973)项目(批准号:2006CB601006),国家高技术研究发展计划(863)新材料领域(批准号:2006AA03Z213)和广西高校优秀人才资助计划项目(批准号:RC2007024)资助的课题.

摘要: 报道了在蓝宝石衬底上制备CeO2缓冲层的原位双温工艺法及其对Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212)薄膜超导特性的影响.XPS和AFM测试结果表明,采用原位双温工艺法制备缓冲层,具有工艺简单,薄膜表面光滑,衬底材料原子扩散量少等特点.在先驱膜的高温后退火过程中,40 nm厚的CeO2薄膜就能有效地阻挡衬底材料对超导薄膜底层的扩散.随后制备厚度为530 nm的Tl-2212

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