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硬X射线光子筛波导效应研究

谢常青 朱效立 贾佳

硬X射线光子筛波导效应研究

谢常青, 朱效立, 贾佳
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  • 基于快速傅里叶变换光束传播法,研究了硬X射线光子筛中高高宽比金属结构的波导效应,确定了硬X射线光子筛的物理边界条件,采用角谱法计算了硬X射线光子筛的点扩展函数,并分析了吸收体厚度对聚焦性能的影响.研究结果表明波导效应一定程度上有利于抑制光子筛高级衍射的产生,提高聚焦性能.在同样的特征尺寸下,硬X射线光子筛的空间分辨率优于菲涅尔波带片,其缺点是衍射效率的下降.吸收体厚度的提高有利于提高光子筛的聚焦性能和衍射效率,但是相应的纳米加工工艺难度会增加.
    • 基金项目: 国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB935302)和国家自然科学基金(批准号:60676008)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-02-16
  • 修回日期:  2009-03-05
  • 刊出日期:  2009-11-20

硬X射线光子筛波导效应研究

  • 1. 中国科学院微电子研究所,北京 100029
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB935302)和国家自然科学基金(批准号:60676008)资助的课题.

摘要: 基于快速傅里叶变换光束传播法,研究了硬X射线光子筛中高高宽比金属结构的波导效应,确定了硬X射线光子筛的物理边界条件,采用角谱法计算了硬X射线光子筛的点扩展函数,并分析了吸收体厚度对聚焦性能的影响.研究结果表明波导效应一定程度上有利于抑制光子筛高级衍射的产生,提高聚焦性能.在同样的特征尺寸下,硬X射线光子筛的空间分辨率优于菲涅尔波带片,其缺点是衍射效率的下降.吸收体厚度的提高有利于提高光子筛的聚焦性能和衍射效率,但是相应的纳米加工工艺难度会增加.

English Abstract

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