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Er硅酸盐化合物薄膜的相转变和光致发光特性研究

王兴军 董斌 周治平

Er硅酸盐化合物薄膜的相转变和光致发光特性研究

王兴军, 董斌, 周治平
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  • 溶胶-凝胶法在Si(100)基片上旋涂法制备铒硅酸盐化合物(Er silicate)薄膜.系统研究了烧结温度和烧结时间对Er silicate薄膜相结构、相转变以及光致发光特性的影响.在1000 ℃以下,薄膜晶体结构为Er2O3 晶体和SiO2 非晶的混合物.随着烧结温度增加到1200 ℃,保温时间增加到30 min,薄膜晶体结构转变成(100),(200)和(300)择优取向的Er2SiO5相.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:60907024,60977018)资助的课题.
    [1]

    [1]Pavesi L, Lockwood D J 2004 Silicon Photonics (Berlin: Springer)

    [2]

    [2]Polman A 1997 J Appl. Phys. 82 1

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    [3]Li C R, Ming C G, Li S F, Ding J H, Wang B C, Zhang L 2008 Acta Phys. Sin. 57 6604 (in Chinese) [李成仁、明成国、李淑凤、丁建华、王宝成、张丽 2008 物理学报 57 6604]

    [4]

    [4]Xiao Z S, Xu F, Zhang T H, Cheng G A, Gu L L 2001 Acta Phys. Sin. 50 164 (in Chinese) [肖志松、徐飞、张通和、程国安、顾岚 2001 物理学报 50 164]

    [5]

    [5]Han H S, Seo S Y, Shin J H 2001 Appl. Phys. Lett. 79 4568

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    [6]Han H S, Seo S Y, Shin J H, Park N 2002 Appl. Phys. Lett. 81 3720

    [7]

    [7]Isshiki H, de Dood M J A., Kimura T, Polman A 2004 Appl. Phys. Lett. 85 4343

    [8]

    [8]Wang X J, Nakajima T, Isshiki H, Kimura T 2009 Appl. Phys. Lett. 95 041906

    [9]

    [9] Miritello M, Savio R L, Iacona F, Franzo G, Irrera A, Piro A M, Bongiorno C, Priolo F 2007 Adv. Mater. 19 1582

    [10]

    ]Yin Y, Sun K, Xu W J, Ran G Z, Qin G G, Wang S M, Wang C Q 2009 J. Phys.: Condens. Matter 21 012204

    [11]

    ]Suh K, Shin J H, Seo S J, Bae B S 2006 Appl. Phys. Lett. 89 223102

    [12]

    ]Wang X, Zhang J G, Cheng B W, Yu J Z, Wang Q M 2006 J. Crys. Growth 289 178

  • [1]

    [1]Pavesi L, Lockwood D J 2004 Silicon Photonics (Berlin: Springer)

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    [2]Polman A 1997 J Appl. Phys. 82 1

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    [3]Li C R, Ming C G, Li S F, Ding J H, Wang B C, Zhang L 2008 Acta Phys. Sin. 57 6604 (in Chinese) [李成仁、明成国、李淑凤、丁建华、王宝成、张丽 2008 物理学报 57 6604]

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    [4]Xiao Z S, Xu F, Zhang T H, Cheng G A, Gu L L 2001 Acta Phys. Sin. 50 164 (in Chinese) [肖志松、徐飞、张通和、程国安、顾岚 2001 物理学报 50 164]

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    [6]Han H S, Seo S Y, Shin J H, Park N 2002 Appl. Phys. Lett. 81 3720

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    [8]Wang X J, Nakajima T, Isshiki H, Kimura T 2009 Appl. Phys. Lett. 95 041906

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    [9] Miritello M, Savio R L, Iacona F, Franzo G, Irrera A, Piro A M, Bongiorno C, Priolo F 2007 Adv. Mater. 19 1582

    [10]

    ]Yin Y, Sun K, Xu W J, Ran G Z, Qin G G, Wang S M, Wang C Q 2009 J. Phys.: Condens. Matter 21 012204

    [11]

    ]Suh K, Shin J H, Seo S J, Bae B S 2006 Appl. Phys. Lett. 89 223102

    [12]

    ]Wang X, Zhang J G, Cheng B W, Yu J Z, Wang Q M 2006 J. Crys. Growth 289 178

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出版历程
  • 收稿日期:  2009-08-18
  • 修回日期:  2009-09-01
  • 刊出日期:  2010-05-15

Er硅酸盐化合物薄膜的相转变和光致发光特性研究

  • 1. (1)北京大学信息科学技术学院电子学系,区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室,北京 100871; (2)大连民族学院理学院光电子技术研究所,大连 116600
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60907024,60977018)资助的课题.

摘要: 溶胶-凝胶法在Si(100)基片上旋涂法制备铒硅酸盐化合物(Er silicate)薄膜.系统研究了烧结温度和烧结时间对Er silicate薄膜相结构、相转变以及光致发光特性的影响.在1000 ℃以下,薄膜晶体结构为Er2O3 晶体和SiO2 非晶的混合物.随着烧结温度增加到1200 ℃,保温时间增加到30 min,薄膜晶体结构转变成(100),(200)和(300)择优取向的Er2SiO5相.

English Abstract

参考文献 (12)

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