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氢化硅薄膜光吸收近似特性研究

郭立强 丁建宁 杨继昌 王书博 叶枫 程广贵 凌智勇 范慧娟 袁宁一 王秀琴

氢化硅薄膜光吸收近似特性研究

郭立强, 丁建宁, 杨继昌, 王书博, 叶枫, 程广贵, 凌智勇, 范慧娟, 袁宁一, 王秀琴
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  • 利用等离子体化学气相沉积系统在直流电压源和射频源的双重激励下,以康宁7059玻璃为衬底制备了氢化硅薄膜.过测定氢化硅薄膜Raman光谱,对薄膜微结构进行了表征;建立氢化硅薄膜的光吸收模型,计算出薄膜的光吸收系数和光学带隙,和实验结果基本一致,说明该模型符合实验结果;并利用该模型计算的光吸收系数和光学带隙,结合AMPS软件对设计的太阳电池结构进行了模拟,给出的I-V特性曲线变化趋势与实验结果基本符合,同时对实验结果与模拟结果存在差异的原因进行了分析,并给出合理解释.
    • 基金项目: 青蓝工程(批准号:2008-04),常州市工业科技攻关专项(批准号:CE2008014),常州市科技平台专项(批准号:CM2008301)和江苏省科技支撑计划(批准号:BE20080030)资助的课题.
    [1]

    Huang R, Lin X Y, Yu Y P, Lin K X, Yao R H, Huang W Y, Wei J H, Wang Z K, Yu C Y 2004 Acta Phys. Sin. 53 3950 (in Chinese) [黄 锐、林璇英、余云鹏、林揆训、姚若河、黄文勇、魏俊红、王照奎、余楚迎 2004 物理学报 53 3950]

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    Han X Y, Hou G F, Wei C C, Zhang X D, Dai Z H, Li G J, Sun J, Chen X L, Zhang D K, Xue J M, Zhao Y, Geng X H 2009 Acta Phys. Sin. 58 4254 (in Chinese) [韩晓艳、侯国付、魏长春、张晓丹、戴志华、李贵君、孙 建、陈新亮、张德坤、薛俊明、赵 颖、耿新华 2009 物理学报 58 4254]

    [3]

    Wei W S 2007 Vacuum 81 857

    [4]

    Ledinsky M, Fekete L, Stuchlik J, Mates T, Fejfar A, Kocka J 2006 Journal of Non-Crystalline Solids 352 1209

    [5]

    Liao N M, Li W, Jiang Y D, Kuang Y J, Qi K C, Li S B, Wu Z M 2008 Acta Phys. Sin. 57 1542 (in Chinese)[廖乃镘、李 伟、蒋亚东、匡跃军、祁康成、李世彬、吴志明 2008 物理学报 57 1542]

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    Zhu X H, Chen G H, Zhang W L, Ding Y, Ma Z J, Hu Y H, He B, Rong Y D 2005 Chin.Phys. 14 1009

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    [22]

    Shim J H, Im S, Cho N H 2004 Appl. Surf. Sci. 234 268

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    [11]

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    Hao J B, Xia D L, Jiang H, Zhao X J 2007 Journal of Wuhan University of Technology 29 55 (in Chinese) [郝江波、夏冬林、姜 宏、赵修建 2007 武汉理工大学学报 29 55]

    [13]

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    Wang Q 2007 Ph. D. Dissertation (Zhenjiang: Jiangsu University) (in Chinese)[王 权 2007 博士学位论文 (镇江:江苏大学)]

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    [22]

    Shim J H, Im S, Cho N H 2004 Appl. Surf. Sci. 234 268

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出版历程
  • 收稿日期:  2009-12-22
  • 修回日期:  2010-03-11
  • 刊出日期:  2010-11-15

氢化硅薄膜光吸收近似特性研究

  • 1. (1)常州大学,低维材料微纳器件与系统研究中心,常州 213164; (2)常州大学,低维材料微纳器件与系统研究中心,常州 213164;常州市新能源重点实验室,常州 213164; (3)江苏大学机械工程学院,微纳米研究中心,镇江 212013; (4)江苏大学机械工程学院,微纳米研究中心,镇江 212013;常州大学,低维材料微纳器件与系统研究中心,常州 213164;常州市新能源重点实验室,常州 213164
    基金项目: 

    青蓝工程(批准号:2008-04),常州市工业科技攻关专项(批准号:CE2008014),常州市科技平台专项(批准号:CM2008301)和江苏省科技支撑计划(批准号:BE20080030)资助的课题.

摘要: 利用等离子体化学气相沉积系统在直流电压源和射频源的双重激励下,以康宁7059玻璃为衬底制备了氢化硅薄膜.过测定氢化硅薄膜Raman光谱,对薄膜微结构进行了表征;建立氢化硅薄膜的光吸收模型,计算出薄膜的光吸收系数和光学带隙,和实验结果基本一致,说明该模型符合实验结果;并利用该模型计算的光吸收系数和光学带隙,结合AMPS软件对设计的太阳电池结构进行了模拟,给出的I-V特性曲线变化趋势与实验结果基本符合,同时对实验结果与模拟结果存在差异的原因进行了分析,并给出合理解释.

English Abstract

参考文献 (22)

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