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变温退火制备铝诱导大晶粒多晶硅薄膜的机理研究

唐正霞 沈鸿烈 江丰 方茹 鲁林峰 黄海宾 蔡红

变温退火制备铝诱导大晶粒多晶硅薄膜的机理研究

唐正霞, 沈鸿烈, 江丰, 方茹, 鲁林峰, 黄海宾, 蔡红
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-01-07
  • 修回日期:  2010-05-25
  • 刊出日期:  2010-12-15

变温退火制备铝诱导大晶粒多晶硅薄膜的机理研究

  • 1. 南京航空航天大学材料科学与技术学院,南京 210016
    基金项目: 

    国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03Z219)和南京航空航天大学博士学位论文创新与创优基金(批准号:BCXJ08-10)资助的课题.

摘要: 为了缩短铝诱导法制备大晶粒多晶硅薄膜的退火时间,用射频磁控溅射法在玻璃衬底上沉积了a-Si/SiO2/Al叠层膜,并用两种方法进行变温退火.分析了变温退火工艺对铝诱导晶化过程的影响,着重讨论了退火过程中温度由低温升到高温时不形成小晶粒的机理和条件.研究表明,当退火温度升高时,是否形成小晶粒取决于晶粒半径、耗尽层厚度和相邻晶粒间距三者之间的关系.

English Abstract

参考文献 (12)

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