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ZnS衬底表面亚波长增透结构的设计及制备

徐启远 刘正堂 李阳平 武倩 张淼

ZnS衬底表面亚波长增透结构的设计及制备

徐启远, 刘正堂, 李阳平, 武倩, 张淼
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  • ZnS是长波红外窗口优选材料之一,而其表面反射率较高;为了减小表面反射,利用耦合波理论,对ZnS衬底表面的亚波长结构参数进行优化设计,得到了具有良好增透效果的最佳亚波长结构参数;并利用掩膜光刻、反应离子刻蚀技术在ZnS衬底表面制备出在8—12 μm波段范围内有明显增透效果的二维亚波长结构,这为ZnS衬底的增透提供了一种新的方法.
    • 基金项目: 航空科学基金(编号: 2008ZE53043)资助的课题.
    [1]

    Yu H Z, Zheng Y H, Liu J P 1997 Laser & Infrared 27 366 (in Chinese) [余怀之、 郑岳华、 刘建平 1997 激光与红外 27 366]

    [2]

    J. Infrared Millim. Waves 23 6 (in Chinese) [曹召良、 卢振武、 张 平、 王淑荣、 赵晶丽、 李凤有 2004 红外与毫米学报 23 6]

    [3]

    Joseph S, Marcovitch O, Yadin Y, Klaiman D, Koren N, Zipin H 2007 Proc. SPIE 6545 6545KT1

    [4]

    Wilson M, Thomas M, Perez I M, Price D 1994 Proc. SPIE 2286 108

    [5]

    Hobbs D S, MacLeod B D 2005 Proc. SPIE 5786 349

    [6]

    Grann E B, Moharam M G, Pommet D A 1995 J. Opt. Soc. Am. A 12 333

    [7]

    Grann E B, Moharam M G, Pommet D A 1994 J. Opt. Soc. Am. A 11 2695

    [8]

    Cao Z L, Lu Z W, Zhang P, Wang S R, Zhao J L, Li F Y 2004

    [9]

    Sun C H, Jiang B, Jiang P 2008 Appl. Phys. Lett. 92 061112

    [10]

    DeNatale J F, Hood P J, Flintoff J F, Hurber A B 1992 J. Appl. Phys. 71 1388

    [11]

    Kim D P, Kim C I, Kwon K H 2004 Thin Solid Films 459 131

    [12]

    Su S H, Yokoyama M, Su Y K 1997 Materials Chemistry & Physics 50 205

    [13]

    Raguin D H, Morris G M 1993 Appl. Opt. 32 1154

    [14]

    Raguin D H 1993 Ph. D. Dissertation (New York: The University of Rochester)

  • [1]

    Yu H Z, Zheng Y H, Liu J P 1997 Laser & Infrared 27 366 (in Chinese) [余怀之、 郑岳华、 刘建平 1997 激光与红外 27 366]

    [2]

    J. Infrared Millim. Waves 23 6 (in Chinese) [曹召良、 卢振武、 张 平、 王淑荣、 赵晶丽、 李凤有 2004 红外与毫米学报 23 6]

    [3]

    Joseph S, Marcovitch O, Yadin Y, Klaiman D, Koren N, Zipin H 2007 Proc. SPIE 6545 6545KT1

    [4]

    Wilson M, Thomas M, Perez I M, Price D 1994 Proc. SPIE 2286 108

    [5]

    Hobbs D S, MacLeod B D 2005 Proc. SPIE 5786 349

    [6]

    Grann E B, Moharam M G, Pommet D A 1995 J. Opt. Soc. Am. A 12 333

    [7]

    Grann E B, Moharam M G, Pommet D A 1994 J. Opt. Soc. Am. A 11 2695

    [8]

    Cao Z L, Lu Z W, Zhang P, Wang S R, Zhao J L, Li F Y 2004

    [9]

    Sun C H, Jiang B, Jiang P 2008 Appl. Phys. Lett. 92 061112

    [10]

    DeNatale J F, Hood P J, Flintoff J F, Hurber A B 1992 J. Appl. Phys. 71 1388

    [11]

    Kim D P, Kim C I, Kwon K H 2004 Thin Solid Films 459 131

    [12]

    Su S H, Yokoyama M, Su Y K 1997 Materials Chemistry & Physics 50 205

    [13]

    Raguin D H, Morris G M 1993 Appl. Opt. 32 1154

    [14]

    Raguin D H 1993 Ph. D. Dissertation (New York: The University of Rochester)

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出版历程
  • 收稿日期:  2010-01-07
  • 修回日期:  2010-05-05
  • 刊出日期:  2011-01-15

ZnS衬底表面亚波长增透结构的设计及制备

  • 1. 西北工业大学凝固技术国家重点实验室,西安 710072
    基金项目: 

    航空科学基金(编号: 2008ZE53043)资助的课题.

摘要: ZnS是长波红外窗口优选材料之一,而其表面反射率较高;为了减小表面反射,利用耦合波理论,对ZnS衬底表面的亚波长结构参数进行优化设计,得到了具有良好增透效果的最佳亚波长结构参数;并利用掩膜光刻、反应离子刻蚀技术在ZnS衬底表面制备出在8—12 μm波段范围内有明显增透效果的二维亚波长结构,这为ZnS衬底的增透提供了一种新的方法.

English Abstract

参考文献 (14)

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