搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

Al原子在Pb基底上的沉积过程研究

黄晓玉 程新路 徐嘉靖 吴卫东

Al原子在Pb基底上的沉积过程研究

黄晓玉, 程新路, 徐嘉靖, 吴卫东
PDF
导出引用
  • 利用分子动力学方法模拟了Al原子在Pb基底上的沉积过程. 对Al原子在Pb基底(001)面上沉积的形态与Pb原子在Al(001)基底上沉积的形态做了比较. 由于界面间势垒的不同, 两个体系界面间的形态有明显的差异. 分析了基底温度、基底晶面指向、沉积原子的入射动能对界面间原子混合的影响. 模拟结果显示: 随着基底温度升高, 基底原子的可移动性大大增加, 与沉积原子发生较大程度的混合; 入射能的改变对界面间原子的混合影响很小; 基底表面取不同的晶格指向时, 基底与沉积原子间的混合行为也有明显的不同. 利用径向分布函数分析了沉积原子的入射能对薄膜中原子排列有序性的影响. 较高入射能对应更有序的薄膜结构; 由径向分布函数的结构可以推测Al原子在Pb(001)基底表面沉积时界面间可能有金属间化合物生成.
    [1]

    Zhang Q Y, Ma T C, Pan Z Y, Tang J Y 2000 Acta Phys. Sin. 49 1124 (in Chinese) [张庆瑜, 马腾才, 潘正英, 汤家镛 2000 物理学报 49 1124]

    [2]

    Schneider M, Rahman A, Schuller I K 1985 Phys. Rev. Lett. 55 604

    [3]

    Voter A F 1986 Phys. Rev. B 34 6819

    [4]

    Dong L, Smith R W 1996 J. Appl. Phys. 80 5682

    [5]

    Yan C, Duan J H, He X D 2010 Acta Phys. Sin. 59 8807 (in Chinese) [颜超, 段军红, 何兴道 2010 物理学报 59 8807]

    [6]

    Liu M L, Zhang Z N, Li W, Zhao Q, Qi Y, Zhang L 2009 Acta Phys. Sin. 58 S199 (in Chinese) [刘美林, 张宗宁, 李蔚, 赵骞, 祁阳, 张林 2009 物理学报 58 S199]

    [7]

    Hong Z H, Hwang S F, Fang T H 2007 Comp. Mater. Sci. 41 70

    [8]

    Zhang L, Feng J Y 2005 Nuclear Instrum. Meth. B 234 487

    [9]

    Johnson E, Johansen A, Dahmen U, Sui M L, Lu K 2001 Mater. Sci. Eng. 1 187.

    [10]

    Zhao J Z, Ratke L 1998 Model. Simul. Mater. Sci. Eng. 6 123

    [11]

    Cole J F, Coodwin F E 1990 J. Miner. Met. Mater. Soc. 641

    [12]

    Inoue A, Yano N, Matsuzaki K, Masumoto T 1987 J. Mater. Sci. 22 123

    [13]

    Bangert H, Eisenmenger-sitter C, Bergauer A 1996 Surf. Coat. Tech. 80 162

    [14]

    Wang Z 2004 Mater. Rev. 18 239 (in Chinese) [王闸 2004 材料导报 18 239]

    [15]

    Gladkikh N T, Bogatyrenkos I, Kryshtal A P, Sui M L, Lu K 2003 Appl. Surf. Sci. 219 338

    [16]

    Zhang L, Jin Z H, Zhang L H, Sui M L, Lu K 2000 Phys. Rev. Lett. 85 1484

    [17]

    Daw M S, Baskes M I 1984 Phys. Rev. B 29 6443

    [18]

    Daw M S, Foiles S M, Baskes M I 1993 Mater. Sci. Rep. 9 251

    [19]

    Landa A, Wynblatt P, Siegel D J 2000 Acta Mater. 48 1753

    [20]

    Kim S P, Lee S C, Lee K R, Chung Y C 2004 J. Electroceram. 13 315

    [21]

    Chung C Y, Chung Y C 2006 Mater. Lett.. 60 1063

    [22]

    Kim C, Chung Y C 2005 Jpn. J. Appl. Phys. 44 5700

    [23]

    Kim S P, Chung Y C 2004 J. Korean Phys. Soc. 44 18

    [24]

    Zhang Q Y 1999 J. Dalian Univ. Tech. 39 730 (in Chinese) [张庆瑜 1999 大连理工大学学报 39 730]

    [25]

    Kim S P, Chung Y C, Lee S C, Lee K R, Lee K H 2003 J. Appl. Phys. 93 8564

    [26]

    Kim S P, Lee S C, Lee K R, Chung Y C 2004 Jpn. J. Appl. Phys. 43 3818

    [27]

    Kim S P, Chung Y C, Lee S C, Lee K R 2004 J. Korean Phys. Soc. 44 18

    [28]

    Lee S G, Kim S P, Lee K R, Chung Y C 2005 J. Magn. Magn. Mater. 286 394

  • [1]

    Zhang Q Y, Ma T C, Pan Z Y, Tang J Y 2000 Acta Phys. Sin. 49 1124 (in Chinese) [张庆瑜, 马腾才, 潘正英, 汤家镛 2000 物理学报 49 1124]

    [2]

    Schneider M, Rahman A, Schuller I K 1985 Phys. Rev. Lett. 55 604

    [3]

    Voter A F 1986 Phys. Rev. B 34 6819

    [4]

    Dong L, Smith R W 1996 J. Appl. Phys. 80 5682

    [5]

    Yan C, Duan J H, He X D 2010 Acta Phys. Sin. 59 8807 (in Chinese) [颜超, 段军红, 何兴道 2010 物理学报 59 8807]

    [6]

    Liu M L, Zhang Z N, Li W, Zhao Q, Qi Y, Zhang L 2009 Acta Phys. Sin. 58 S199 (in Chinese) [刘美林, 张宗宁, 李蔚, 赵骞, 祁阳, 张林 2009 物理学报 58 S199]

    [7]

    Hong Z H, Hwang S F, Fang T H 2007 Comp. Mater. Sci. 41 70

    [8]

    Zhang L, Feng J Y 2005 Nuclear Instrum. Meth. B 234 487

    [9]

    Johnson E, Johansen A, Dahmen U, Sui M L, Lu K 2001 Mater. Sci. Eng. 1 187.

    [10]

    Zhao J Z, Ratke L 1998 Model. Simul. Mater. Sci. Eng. 6 123

    [11]

    Cole J F, Coodwin F E 1990 J. Miner. Met. Mater. Soc. 641

    [12]

    Inoue A, Yano N, Matsuzaki K, Masumoto T 1987 J. Mater. Sci. 22 123

    [13]

    Bangert H, Eisenmenger-sitter C, Bergauer A 1996 Surf. Coat. Tech. 80 162

    [14]

    Wang Z 2004 Mater. Rev. 18 239 (in Chinese) [王闸 2004 材料导报 18 239]

    [15]

    Gladkikh N T, Bogatyrenkos I, Kryshtal A P, Sui M L, Lu K 2003 Appl. Surf. Sci. 219 338

    [16]

    Zhang L, Jin Z H, Zhang L H, Sui M L, Lu K 2000 Phys. Rev. Lett. 85 1484

    [17]

    Daw M S, Baskes M I 1984 Phys. Rev. B 29 6443

    [18]

    Daw M S, Foiles S M, Baskes M I 1993 Mater. Sci. Rep. 9 251

    [19]

    Landa A, Wynblatt P, Siegel D J 2000 Acta Mater. 48 1753

    [20]

    Kim S P, Lee S C, Lee K R, Chung Y C 2004 J. Electroceram. 13 315

    [21]

    Chung C Y, Chung Y C 2006 Mater. Lett.. 60 1063

    [22]

    Kim C, Chung Y C 2005 Jpn. J. Appl. Phys. 44 5700

    [23]

    Kim S P, Chung Y C 2004 J. Korean Phys. Soc. 44 18

    [24]

    Zhang Q Y 1999 J. Dalian Univ. Tech. 39 730 (in Chinese) [张庆瑜 1999 大连理工大学学报 39 730]

    [25]

    Kim S P, Chung Y C, Lee S C, Lee K R, Lee K H 2003 J. Appl. Phys. 93 8564

    [26]

    Kim S P, Lee S C, Lee K R, Chung Y C 2004 Jpn. J. Appl. Phys. 43 3818

    [27]

    Kim S P, Chung Y C, Lee S C, Lee K R 2004 J. Korean Phys. Soc. 44 18

    [28]

    Lee S G, Kim S P, Lee K R, Chung Y C 2005 J. Magn. Magn. Mater. 286 394

  • 引用本文:
    Citation:
计量
  • 文章访问数:  2379
  • PDF下载量:  445
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2011-03-22
  • 修回日期:  2011-04-20
  • 刊出日期:  2012-01-05

Al原子在Pb基底上的沉积过程研究

  • 1. 四川大学原子与分子物理研究所, 成都 610065;
  • 2. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 绵阳 621900

摘要: 利用分子动力学方法模拟了Al原子在Pb基底上的沉积过程. 对Al原子在Pb基底(001)面上沉积的形态与Pb原子在Al(001)基底上沉积的形态做了比较. 由于界面间势垒的不同, 两个体系界面间的形态有明显的差异. 分析了基底温度、基底晶面指向、沉积原子的入射动能对界面间原子混合的影响. 模拟结果显示: 随着基底温度升高, 基底原子的可移动性大大增加, 与沉积原子发生较大程度的混合; 入射能的改变对界面间原子的混合影响很小; 基底表面取不同的晶格指向时, 基底与沉积原子间的混合行为也有明显的不同. 利用径向分布函数分析了沉积原子的入射能对薄膜中原子排列有序性的影响. 较高入射能对应更有序的薄膜结构; 由径向分布函数的结构可以推测Al原子在Pb(001)基底表面沉积时界面间可能有金属间化合物生成.

English Abstract

参考文献 (28)

目录

    /

    返回文章
    返回