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单晶硅片中的位错在快速热处理过程中的滑移

徐嶺茂 高超 董鹏 赵建江 马向阳 杨德仁

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单晶硅片中的位错在快速热处理过程中的滑移

徐嶺茂, 高超, 董鹏, 赵建江, 马向阳, 杨德仁

Dislocation motion during rapid thermal processing of single-crystalline silicon wafers

Xu Ling-Mao, Gao Chao, Dong Peng, Zhao Jian-Jiang, Ma Xiang-Yang, Yang De-Ren
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-01-14
  • 修回日期:  2013-04-26
  • 刊出日期:  2013-08-05

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