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在半导体-金属相变温度附近氧化钒薄膜光学性质的异常变动

杨伟 梁继然 刘剑 姬扬

在半导体-金属相变温度附近氧化钒薄膜光学性质的异常变动

杨伟, 梁继然, 刘剑, 姬扬
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  • 在可见光–近红外波段的不同波长下,测量了半导体-金属相变过程中氧化钒薄膜样品的反射率和透射率. 在薄膜相变过程中,不同波段的反射率曲线和透射率曲线表现出不同的变化趋势. 利用非相干光在薄膜中的多级反射-透射模型,计算了相变过程中不同波长下氧化钒薄膜的折射率n和消光系数k随温度的变化. 结果表明,在相变温度附近氧化钒薄膜光学性质的异常变动,其原因既有薄膜的折射率和消光系数随波长的变化趋势不同,也有在吸收性薄膜中存在探测光多次反射和透射的累加效应.
    • 基金项目: 国家重点基础研究发展计划(批准号:2013CB922304)、国家自然科学基金青年科学基金(批准号:61101055)和极化材料与器件教育部重点实验室基金(批准号:KFKT20130002)资助的课题.
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    [21]

    Coath J A, Richardson M A 1999 Conference on Advances in Optical Interference Coatings (Washington: SPIE) p555

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出版历程
  • 收稿日期:  2013-12-11
  • 修回日期:  2014-01-07
  • 刊出日期:  2014-05-05

在半导体-金属相变温度附近氧化钒薄膜光学性质的异常变动

  • 1. 中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验室, 北京 100083;
  • 2. 天津大学电子信息工程学院, 天津 300072
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展计划(批准号:2013CB922304)、国家自然科学基金青年科学基金(批准号:61101055)和极化材料与器件教育部重点实验室基金(批准号:KFKT20130002)资助的课题.

摘要: 在可见光–近红外波段的不同波长下,测量了半导体-金属相变过程中氧化钒薄膜样品的反射率和透射率. 在薄膜相变过程中,不同波段的反射率曲线和透射率曲线表现出不同的变化趋势. 利用非相干光在薄膜中的多级反射-透射模型,计算了相变过程中不同波长下氧化钒薄膜的折射率n和消光系数k随温度的变化. 结果表明,在相变温度附近氧化钒薄膜光学性质的异常变动,其原因既有薄膜的折射率和消光系数随波长的变化趋势不同,也有在吸收性薄膜中存在探测光多次反射和透射的累加效应.

English Abstract

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