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准随机矩形孔阵列透射光栅

刘钰薇 张文海 张继成 范全平 魏来 晏卓阳 赵屹东 崔明启 邱荣 曹磊峰

准随机矩形孔阵列透射光栅

刘钰薇, 张文海, 张继成, 范全平, 魏来, 晏卓阳, 赵屹东, 崔明启, 邱荣, 曹磊峰
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  • 自支撑透射光栅的周期加强筋结构在降低光栅的通光面积、减少光栅衍射效率的同时, 也影响了光栅原有的衍射模式, 致使其应用更加复杂. 为了应对这一问题, 作者提出了利用在高Z材料薄膜上准随机排布矩形孔实现自支撑透射光栅的技术方法. 理论分析与实验结果表明, 利用新方法制作的透射光栅较好地摆脱了周期性加强筋对透射光栅衍射模式的强加干扰.
    • 基金项目: 国家重大仪器设备开发专项(批准号: 2012YQ130125)和国家自然科学基金(批准号: 11375160)资助的课题.
    [1]

    Shang W L, Zhu T, Xiong G, Zhao Y, Zhang W H, Yi R Q, Kuang L Y, Cao L F, Gao Y L, Yang J M, Zhao Y D, Cui M Q, Zhen L, Han Y, Zhou K J, Ma C Y 2011 Acta Phys. Sin. 60 034216 (in Chinese) [尚万里, 朱托, 熊刚, 赵阳, 张文海, 易荣清, 况龙钰, 曹磊峰, 高宇林, 杨家敏, 赵屹东, 崔明启, 郑雷, 韩勇, 周克瑾, 马陈燕 2011 物理学报 60 034216]

    [2]

    Zhang Q Q, Wei L, Yang Z H, Qian F, Fan Q P, Zhang B, Gu Y Q, Cao L F 2014 Chin. Phys. B 23 044215

    [3]

    Huang C L, Zhang J C, Diao K D, Zeng Y, Yi Y, Cao L F, Wang H B 2014 Acta Phys. Sin. 63 018101 (in Chinese) [黄成龙, 张继成, 刁凯迪, 曾勇, 易勇, 曹磊峰, 王红斌 2014 物理学报 63 018101]

    [4]

    Weaver J L, Holland G, Feldman U, Seely J F, Brown C M Serlin V, Deniz A V, Klapisch M 2001 Rev. Sci. Instrum. 72 108

    [5]

    Eagleton R T, James S F 2004 Rev. Sci. Instrum. 75 3969

    [6]

    Yang J M, Ding Y N, Zhang W H Zhang J Y, Zheng Z J 2003 Rev. Sci. Instrum. 74 4268

    [7]

    Schnopper H W, Van Speybroeck L P, Delvaille J P, Epstein A, Köllne E, Bachrach R Z, Dijkstra J, Lantward L 1977 Appl. Opt. 14 1088

    [8]

    Zhu X L, Ma J, Xie C Q, Ye T C, Liu M, Cao L F, Yang J M, Zhang W H 2008 Acta Optical Sinica 28 1026 (in Chinese) [朱效立, 马杰, 谢常青, 叶甜春, 刘明, 曹磊峰, 杨家敏, 张文海 2008 光学学报 28 1026]

    [9]

    Li H L, Wu J, Zhu X L, Xie C Q, Liu M, Cao L F 2007 Acta Optical Sinica 29 2650 (in Chinese) [李海亮, 吴坚, 朱效立, 谢常青, 刘明, 曹磊峰 2007 光学学报 29 2650]

    [10]

    Desauté P, Merdji H, Greiner V, Missalla T, Chenais-Popovics C, Troussel P 2000 Opt. Com. 173 37

    [11]

    Wilhein T, Rehbein S, Hambach D, Berglund M, Rymell L, Hertz H M 1999 Rev. Sci. Instrum. 70 1694

    [12]

    N N G 2006 Fourier Optics 2 (Beijing: China Machine Press) pp77-93 (in Chinese) [吕乃光 2006 傅里叶光学(第2版) (北京: 机械工业出版社) 第77–93页]

    [13]

    Cao L F 2002 Ph. D. Dissertation (Mianyang: Chinese Aacdemy of Engineering Physics) (in Chinese) [曹磊峰 2002 博士学位论文(绵阳: 中国工程物理研究院)]

    [14]

    Spector S J, Jacobsen C J, Tennant D M 1997 J. Vac. Sci. Technol. B 15 2872

    [15]

    Zhu X L, Ma J, Cao L F, Yang J M, Xie C Q, Liu M, Chen B Q, Niu J B, Zhang Q Z, Jiang J, Zhao M, Ye T C 2007 Chinese Journal of Semiconductors 28 2006 (in Chinese) [朱效立, 马杰, 曹磊峰, 杨家敏, 谢常青, 刘明, 陈宝钦, 牛洁斌, 张庆钊, 姜骥, 赵珉, 叶甜春 2007 半导体学报 28 2006]

  • [1]

    Shang W L, Zhu T, Xiong G, Zhao Y, Zhang W H, Yi R Q, Kuang L Y, Cao L F, Gao Y L, Yang J M, Zhao Y D, Cui M Q, Zhen L, Han Y, Zhou K J, Ma C Y 2011 Acta Phys. Sin. 60 034216 (in Chinese) [尚万里, 朱托, 熊刚, 赵阳, 张文海, 易荣清, 况龙钰, 曹磊峰, 高宇林, 杨家敏, 赵屹东, 崔明启, 郑雷, 韩勇, 周克瑾, 马陈燕 2011 物理学报 60 034216]

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    [5]

    Eagleton R T, James S F 2004 Rev. Sci. Instrum. 75 3969

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    Yang J M, Ding Y N, Zhang W H Zhang J Y, Zheng Z J 2003 Rev. Sci. Instrum. 74 4268

    [7]

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    Zhu X L, Ma J, Xie C Q, Ye T C, Liu M, Cao L F, Yang J M, Zhang W H 2008 Acta Optical Sinica 28 1026 (in Chinese) [朱效立, 马杰, 谢常青, 叶甜春, 刘明, 曹磊峰, 杨家敏, 张文海 2008 光学学报 28 1026]

    [9]

    Li H L, Wu J, Zhu X L, Xie C Q, Liu M, Cao L F 2007 Acta Optical Sinica 29 2650 (in Chinese) [李海亮, 吴坚, 朱效立, 谢常青, 刘明, 曹磊峰 2007 光学学报 29 2650]

    [10]

    Desauté P, Merdji H, Greiner V, Missalla T, Chenais-Popovics C, Troussel P 2000 Opt. Com. 173 37

    [11]

    Wilhein T, Rehbein S, Hambach D, Berglund M, Rymell L, Hertz H M 1999 Rev. Sci. Instrum. 70 1694

    [12]

    N N G 2006 Fourier Optics 2 (Beijing: China Machine Press) pp77-93 (in Chinese) [吕乃光 2006 傅里叶光学(第2版) (北京: 机械工业出版社) 第77–93页]

    [13]

    Cao L F 2002 Ph. D. Dissertation (Mianyang: Chinese Aacdemy of Engineering Physics) (in Chinese) [曹磊峰 2002 博士学位论文(绵阳: 中国工程物理研究院)]

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    Spector S J, Jacobsen C J, Tennant D M 1997 J. Vac. Sci. Technol. B 15 2872

    [15]

    Zhu X L, Ma J, Cao L F, Yang J M, Xie C Q, Liu M, Chen B Q, Niu J B, Zhang Q Z, Jiang J, Zhao M, Ye T C 2007 Chinese Journal of Semiconductors 28 2006 (in Chinese) [朱效立, 马杰, 曹磊峰, 杨家敏, 谢常青, 刘明, 陈宝钦, 牛洁斌, 张庆钊, 姜骥, 赵珉, 叶甜春 2007 半导体学报 28 2006]

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出版历程
  • 收稿日期:  2014-12-03
  • 修回日期:  2014-12-18
  • 刊出日期:  2015-04-05

准随机矩形孔阵列透射光栅

  • 1. 西南科技大学极端条件物质特性联合实验室, 绵阳 621900;
  • 2. 中国工程物理研究院, 激光聚变研究中心, 绵阳 621900;
  • 3. 中国科学院, 高能物理研究所, 北京 100049
    基金项目: 

    国家重大仪器设备开发专项(批准号: 2012YQ130125)和国家自然科学基金(批准号: 11375160)资助的课题.

摘要: 自支撑透射光栅的周期加强筋结构在降低光栅的通光面积、减少光栅衍射效率的同时, 也影响了光栅原有的衍射模式, 致使其应用更加复杂. 为了应对这一问题, 作者提出了利用在高Z材料薄膜上准随机排布矩形孔实现自支撑透射光栅的技术方法. 理论分析与实验结果表明, 利用新方法制作的透射光栅较好地摆脱了周期性加强筋对透射光栅衍射模式的强加干扰.

English Abstract

参考文献 (15)

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