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点源透过率测试系统精度标定与分析

李朝辉 赵建科 徐亮 刘峰 郭毅 刘锴 赵青

点源透过率测试系统精度标定与分析

李朝辉, 赵建科, 徐亮, 刘峰, 郭毅, 刘锴, 赵青
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出版历程
  • 收稿日期:  2016-02-01
  • 修回日期:  2016-03-01
  • 刊出日期:  2016-06-05

点源透过率测试系统精度标定与分析

  • 1. 中国科学院西安光学精密机械研究所, 西安 710119;
  • 2. 中国科学院大学, 北京 100049
  • 通信作者: 李朝辉, lizhaohui@opt.cn

摘要: 点源透过率(PST)测试系统是评价光学系统杂光抑制水平高低的关键设备, 其系统精度的标定是研制难点, 针对此设计了一套用于点源透过率杂散光测试系统精度标定的校准镜头. 利用Tracepro建模分析了校准镜头在不同离轴角下的PST值, 并用此系统对校准镜头不同离轴角下的PST值进行了实测, 与其理论分析值进行比对完成设备精度的标定, 同时通过实测数据分析了测试误差, 给出了系统测试精度和测试极限水平. 结果表明, 在双柱罐内洁净度为ISO 7级的环境水平下, 系统的可见光PST测试极限水平为10-8, 测试精度对数值优于0.5, 测量重复性为7.9%, 根据对探测系统探测能力的评估, 系统的PST极限测试水平为10-10.

English Abstract

参考文献 (14)

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