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基于AZO/VO2/AZO结构的电压诱导相变红外光调制器

徐婷婷 李毅 陈培祖 蒋蔚 伍征义 刘志敏 张娇 方宝英 王晓华 肖寒

基于AZO/VO2/AZO结构的电压诱导相变红外光调制器

徐婷婷, 李毅, 陈培祖, 蒋蔚, 伍征义, 刘志敏, 张娇, 方宝英, 王晓华, 肖寒
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  • 采用直流磁控溅射和后退火工艺先在掺Al氧化锌(AZO)导电玻璃基底上制备了高质量的VO2薄膜,再在VO2膜层上制备AZO导电膜,最终制备出了AZO/VO2/AZO三明治结构.测试了VO2/AZO复合薄膜和AZO/VO2/AZO三明治结构的组分、微结构以及光学特性,结果表明VO2/AZO复合薄膜在8002300 nm红外区域其相变前后的最大透过率差值达24%,而AZO/VO2/AZO三明治结构在相同波长范围内其相变前后的最大透过率差值可达31%.通过在AZO/VO2/AZO三明治结构导电膜层上施加不同电压,观察到不同外界温度下电流的突变,当外界温度越高,所需阈值电压越低.AZO/VO2/AZO三明治结构性能稳定,制备工艺简单,有望应用于集成式红外光调制器.
      通信作者: 李毅, optolyclp@263.net
    • 基金项目: 国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03Z348)、教育部科学技术研究重点项目(批准号:207033)、上海市科学技术委员会科技攻关计划(批准号:06DZ11415)、上海市教育委员会科技创新重点项目(批准号:10ZZ94)和上海市领军人才培养计划(批准号:2011-026)资助的课题.
    [1]

    Morin F J 1959 Phys. Rev. Lett. 3 34

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    Seo G, Kim B J, Ko C, Cui Y, Lee Y W, Shin J H, Ramanathan S, Kim H T 2011 IEEE Electron Dev. Lett. 32 1582

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    Xiao H, Li Y, Yuan W R, Fang B Y, Wang X H, Hao R L, Wu Z Y, Xu T T, Jiang W, Chen P Z 2016 Infrared Phys. Technol. 76 580

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出版历程
  • 收稿日期:  2016-05-25
  • 修回日期:  2016-08-20
  • 刊出日期:  2016-12-05

基于AZO/VO2/AZO结构的电压诱导相变红外光调制器

  • 1. 上海理工大学光电信息与计算机工程学院, 上海 200093;
  • 2. 上海市现代光学系统重点实验室, 上海 200093;
  • 3. 上海电力学院电子与信息工程学院, 上海 200090;
  • 4. 上海健康医学院医学影像学院, 上海 201318
  • 通信作者: 李毅, optolyclp@263.net
    基金项目: 

    国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03Z348)、教育部科学技术研究重点项目(批准号:207033)、上海市科学技术委员会科技攻关计划(批准号:06DZ11415)、上海市教育委员会科技创新重点项目(批准号:10ZZ94)和上海市领军人才培养计划(批准号:2011-026)资助的课题.

摘要: 采用直流磁控溅射和后退火工艺先在掺Al氧化锌(AZO)导电玻璃基底上制备了高质量的VO2薄膜,再在VO2膜层上制备AZO导电膜,最终制备出了AZO/VO2/AZO三明治结构.测试了VO2/AZO复合薄膜和AZO/VO2/AZO三明治结构的组分、微结构以及光学特性,结果表明VO2/AZO复合薄膜在8002300 nm红外区域其相变前后的最大透过率差值达24%,而AZO/VO2/AZO三明治结构在相同波长范围内其相变前后的最大透过率差值可达31%.通过在AZO/VO2/AZO三明治结构导电膜层上施加不同电压,观察到不同外界温度下电流的突变,当外界温度越高,所需阈值电压越低.AZO/VO2/AZO三明治结构性能稳定,制备工艺简单,有望应用于集成式红外光调制器.

English Abstract

参考文献 (22)

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