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跨尺度亚纳米分辨的可溯源外差干涉仪

贺寅竹 赵世杰 尉昊赟 李岩

跨尺度亚纳米分辨的可溯源外差干涉仪

贺寅竹, 赵世杰, 尉昊赟, 李岩
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  • 提出了一种能够实现跨尺度测量具有亚纳米分辨力的可溯源外差干涉仪,利用小型化碘稳频532 nm激光器,将激光频率溯源至国际计量委员会推荐的复现米定义谱线之一的R(56)32-O(a10)上;使用双频激光空间分离的设计方法,抑制了双频激光混叠引起的测量位移非线性误差,补偿了光纤与声光调制器引入的相位噪声;通过高精度的相位测量技术,使相位测量分辨率达到了0.017.干涉仪的不确定度评估结果显示,100 mm的量程内,其不确定度达322 pm,实现了跨尺度亚纳米分辨力可溯源的位移测量.
      通信作者: 赵世杰, zhao_sj2012@163.com;liyan@mail.tsinghua.edu.cn ; 李岩, zhao_sj2012@163.com;liyan@mail.tsinghua.edu.cn
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:51575311)和国家重大科学仪器设备开发专项(批准号:2014YQ09070907)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2016-11-11
  • 修回日期:  2016-12-23
  • 刊出日期:  2017-03-20

跨尺度亚纳米分辨的可溯源外差干涉仪

    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:51575311)和国家重大科学仪器设备开发专项(批准号:2014YQ09070907)资助的课题.

摘要: 提出了一种能够实现跨尺度测量具有亚纳米分辨力的可溯源外差干涉仪,利用小型化碘稳频532 nm激光器,将激光频率溯源至国际计量委员会推荐的复现米定义谱线之一的R(56)32-O(a10)上;使用双频激光空间分离的设计方法,抑制了双频激光混叠引起的测量位移非线性误差,补偿了光纤与声光调制器引入的相位噪声;通过高精度的相位测量技术,使相位测量分辨率达到了0.017.干涉仪的不确定度评估结果显示,100 mm的量程内,其不确定度达322 pm,实现了跨尺度亚纳米分辨力可溯源的位移测量.

English Abstract

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