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脉冲射频容性耦合氩等离子体的发射探针诊断

周瑜 操礼阳 马晓萍 邓丽丽 辛煜

脉冲射频容性耦合氩等离子体的发射探针诊断

周瑜, 操礼阳, 马晓萍, 邓丽丽, 辛煜
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出版历程
  • 收稿日期:  2019-12-09

脉冲射频容性耦合氩等离子体的发射探针诊断

    基金项目: 国家级-国家自然科学基金(11675117,11175127)

摘要: 利用工作在浮点模式下的发射探针,对500 Hz脉冲调制的27.12 MHz容性耦合氩气等离子体的空间电位和电子温度的时变特性进行了诊断。等离子体空间电位是通过测量强热状态下的发射探针电位获得,而电子温度则是由发射探针在冷、热状态下的电位差来估算得到。测量结果表明:脉冲开启时,空间电位会快速上升并在300微秒内趋于饱和;当脉冲关断后,空间电位经历了快速下降后趋于稳定的过程。电子温度在脉冲开启时存在过冲并趋于稳定的特征;而在脉冲关断期间,电子温度在300微秒内则快速下降到0.45 eV后略有上升。无论在脉冲开启或关断期间,空间电位基本上都随功率和气压的变化存在有线性的依赖关系;而放电功率对脉冲开启期间过冲电子温度与稳态电子温度差异的影响较大。针对空间电位和电子温度在各阶段及不同放电条件下的时变特性,给出了相应的解释。

English Abstract

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