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;As+注入硅的紫外-可见椭圆偏振光谱

江任荣;项颂光;王浩文;徐泽鸿;莫党

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;As+注入硅的紫外-可见椭圆偏振光谱

江任荣;项颂光;王浩文;徐泽鸿;莫党

ON ULTRAVIOLET-VISIBLE ELLIPOMETRIC SPECTRA OF As+ IMPLANTED SILICON

Jiang Ren-rong Xiang Song-guang Wang Hao-wen Xu Ze-hong Mo Dang
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出版历程
  • 刊出日期:  1987-04-05

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