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用正电子湮没技术研究a-Si:H/a-SiNx:H多层膜中的界面缺陷

王志超 滕敏康 刘吟春

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用正电子湮没技术研究a-Si:H/a-SiNx:H多层膜中的界面缺陷

王志超, 滕敏康, 刘吟春

ATUDY OF INTERFACE PROPERTIES OF a-Si:H/a-SiNx:H MULTILAYERS BY PAT

WANG ZHI-CHAO, TENG MIN-KANG, LIU YIN-CHUN
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-01-17
  • 刊出日期:  1991-06-05

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