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金属氧化物薄膜的多离子束反应共溅射模型(Ⅱ)——数值计算与结果讨论

肖定全 韦力凡 李子森 朱建国 钱正洪 彭文斌

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金属氧化物薄膜的多离子束反应共溅射模型(Ⅱ)——数值计算与结果讨论

肖定全, 韦力凡, 李子森, 朱建国, 钱正洪, 彭文斌

MODELLING OF MULTI-ION-BEAM REACTIVE COSPUTTERING OF METAL OXIDE THIN FILMS (Ⅱ)——NUMERICAL CALCULATION AND RESULTS DISCUSSION

XIAO DING-QUAN, WEI LI-FAN, LI ZI-SEN, ZHU JIAN-GUO, QIAN ZHENG-HONG, PENG WEN-BIN
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出版历程
  • 收稿日期:  1994-10-08
  • 刊出日期:  1996-01-05

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