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SrTiO3基片的晶体质量及表面粗糙结构的X射线研究

李超荣 朱爱军 戴道扬 麦振洪

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SrTiO3基片的晶体质量及表面粗糙结构的X射线研究

李超荣, 朱爱军, 戴道扬, 麦振洪

INVESTIGATION OF THE CRYSTALLINE QUALITY AND SURFACE STRUCTURE OF SrTiO3 SUBSTRATE WAFERS BY X-RAY METHODS

LI CHAO-RONG, ZHU AI-JUN, DAI DAO-YANG, MAI ZHEN-HONG
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出版历程
  • 收稿日期:  1997-02-01
  • 修回日期:  1997-03-06
  • 刊出日期:  1997-09-20

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