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外延Si1-xGex薄层中浅杂质的光热电离光谱

石晓红 刘普霖 龚大卫 陈张海 史国良 沈学础

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外延Si1-xGex薄层中浅杂质的光热电离光谱

石晓红, 刘普霖, 龚大卫, 陈张海, 史国良, 沈学础

PHOTOTHERMAL IONIZATION SPECTROSCOPY FOR SHALLOW DONOR IN Si1-xGex EPITAXIAL LAYER

SHI XIAO-HONG, LIU PU-LIN, GONG DA-WEI, CHEN ZHANG-HAI, SHI GUO-LIANG, SHEN XUE-CHU
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出版历程
  • 收稿日期:  1996-05-02
  • 刊出日期:  1997-01-05

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