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低压等离子体增强化学汽相沉积法制备立方氮化碳薄膜

张志宏 郭怀喜 余非为 熊启华 叶明生 范湘军

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低压等离子体增强化学汽相沉积法制备立方氮化碳薄膜

张志宏, 郭怀喜, 余非为, 熊启华, 叶明生, 范湘军

PREPARATION OF CUBIC C3N4 THIN FILMS BY LOW-PRESSURE PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

ZHANG ZHI-HONG, GUO HUAI-XI, YU FEI-WEI, XIONG QI-HUA, YE MING-SHENG, FAN XIANG-JUN
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出版历程
  • 收稿日期:  1997-09-08
  • 刊出日期:  1998-03-05

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