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BF+2注入加固硅栅PMOSFET的研究

张廷庆 刘家璐 李建军 王剑屏 张正选 徐娜军 赵元富 胡浴红

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BF+2注入加固硅栅PMOSFET的研究

张廷庆, 刘家璐, 李建军, 王剑屏, 张正选, 徐娜军, 赵元富, 胡浴红

EFFECT OF BF+2 IMPLANTED IN HARDENED Si-GATE PMOSFET

ZHANG TING-QING, LIU JIA-LU, LI JIAN-JUN, WANG JIAN-PING, ZHANG ZHENG-XUAN, XU NA-JUN, ZHAO YUAN-FU, HU YU-HONG
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出版历程
  • 收稿日期:  1999-02-02
  • 修回日期:  1999-03-20
  • 刊出日期:  1999-06-05

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