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在硅(001)上预沉积β-SiC定向层后金刚石薄膜的定向生长

何贤昶 沈荷生 张志明 万永中 沈挺

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在硅(001)上预沉积β-SiC定向层后金刚石薄膜的定向生长

何贤昶, 沈荷生, 张志明, 万永中, 沈挺

He Xian-Chang, Shen He-Sheng, Zhang Zhi-Ming, Wan Yong-Zhong, Shen Ting
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出版历程
  • 收稿日期:  1999-07-04
  • 修回日期:  1999-08-06
  • 刊出日期:  2000-03-20

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