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空心阴极直流放电的二维自洽模型描述和阴极溅射分析

赖建军 余建华 黄建军 王新兵 丘军林

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空心阴极直流放电的二维自洽模型描述和阴极溅射分析

赖建军, 余建华, 黄建军, 王新兵, 丘军林

SELF-CONSISTENT DESCRIPTION OF A DC HOLLOW CATHODE DISCHARGE AND ANALYSIS OF CATHODE SPUTTERING

LAI JIAN-JUN, YU JIAN-HUA, HUANG JIAN-JUN, WANG XIN-BING, QIU JUN-LIN
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-12-30
  • 修回日期:  2001-02-19
  • 刊出日期:  2001-04-05

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