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沉积粒子能量对薄膜早期生长过程的影响

陈敏 魏合林 刘祖黎 姚凯伦

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沉积粒子能量对薄膜早期生长过程的影响

陈敏, 魏合林, 刘祖黎, 姚凯伦

EFFECT OF LOW-ENERGY DEPOSITION PARTICLES ON INITIAL STAGE OF THIN FILM

CHEN MIN, WEI HE-LIN, LIU ZU-LI, YAO KAI-LUN
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-04-14
  • 修回日期:  2001-06-09
  • 刊出日期:  2001-06-05

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