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介质靶表面的充电效应对等离子体浸没离子注入过程中鞘层特性的影响

李雪春 王友年

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介质靶表面的充电效应对等离子体浸没离子注入过程中鞘层特性的影响

李雪春, 王友年

Effects of charging at dielectric surfaces on the characteristics of the sheath for plasma immersion ion implantation

Li Xue-Chun, Wang You-Nian
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-09-26
  • 修回日期:  2003-11-11
  • 刊出日期:  2004-04-05

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