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低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究

王 森 俞国军 巩金龙 李勤涛 朱德彰 朱志远

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低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究

王 森, 俞国军, 巩金龙, 李勤涛, 朱德彰, 朱志远

Etching effects of low energy argon ion beam on porous anodic aluminum oxide membranes

Wang Sen, Yu Guo-Jun, Gong Jin-Long, Li Qin-Tao, Zhu De-Zhang, Zhu Zhi-Yuan
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  • 用低能氩离子束(Ar+)处理了多孔铝阳极氧化膜(AAO)表面.扫描电子显微镜和原 子力显微镜结果表明,Ar+束刻蚀不仅可以有效地去除AAO反面阻挡层,还可使A AO表面产生多种特殊的形貌,如采用倾角入射可使其表面产生波纹,倾角入射同时旋转样品 台,可实现表面抛光.并结合Bradley和Harper提出的无定形材料表面波纹的形成和演化理论 解释了AAO表面波纹的特征.
    Porous anodic aluminum oxide (AAO) membranes were sputtered by 500eV argon ion ( Ar+) beam. Scanning electron microscopy and atomic force microscopy i mages show that not only the barrier layer of AAO can be easily removed by Ar+ beam sputtering, but also several categories of surface morphologies w ere got by changing the incidence parameters. For instance, off-normal incidence bombardment results in ripple formation on the surface of AAO and off-normal in cidence during smple stage rotation leads to AAO surface smoothing. Theory of ri pple formation and evolution on amorphous substrate under ion beam irradiation d eveloped by Bradley and Harper is used to interpret the characteristics of rippl es on AAO surface.
    • 基金项目: 中科院知识创新工程项目、国家自然科学基金(批准号:10375085)、国家重点基础研究发展 计划(批准号:2003CB716901)和上海纳米专项基金(批准号:032nm050)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-06-15
  • 修回日期:  2005-07-25
  • 刊出日期:  2006-03-20

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