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表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性

肖 夏 尤学一 姚素英

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表征超大规模集成电路互连纳米薄膜硬度特性的声表面波的频散特性

肖 夏, 尤学一, 姚素英

Dispersion feature in arbitrary direction of surface acoustic wave applied to property characterization of ultra-large-scale integrated circuit interconnect films

Xiao Xia, You Xue-Yi, Yao Su-Ying
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-07-03
  • 修回日期:  2006-12-08
  • 刊出日期:  2007-02-05

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