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基体对应力诱导的纳米晶W膜开裂行为的影响

孙浩亮 宋忠孝 徐可为

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基体对应力诱导的纳米晶W膜开裂行为的影响

孙浩亮, 宋忠孝, 徐可为

Effect of substrate constraint on stress-induced cracking of sputtered tungsten thin film

Sun Hao-Liang, Song Zhong-Xiao, Xu Ke-Wei
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-09-20
  • 修回日期:  2008-05-05
  • 刊出日期:  2008-04-05

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