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非故意掺杂GaN薄膜方块电阻与载气中N2比例关系研究

席光义 郝智彪 汪 莱 李洪涛 江 洋 赵 维 任 凡 韩彦军 孙长征 罗 毅

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非故意掺杂GaN薄膜方块电阻与载气中N2比例关系研究

席光义, 郝智彪, 汪 莱, 李洪涛, 江 洋, 赵 维, 任 凡, 韩彦军, 孙长征, 罗 毅

Dependence of GaN film sheet resistance on the N2 carrier gas percentage

Xi Guang-Yi, Hao Zhi-Biao, Wang Lai, Li Hong-Tao, Jiang Yang, Zhao Wei, Ren Fan, Han Yan-Jun, Sun Chang-Zheng, Luo Yi
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-02-29
  • 修回日期:  2008-04-11
  • 刊出日期:  2008-11-20

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