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Ti离子注入和退火对ZnS薄膜结构和光学性质的影响

苏海桥 薛书文 陈猛 李志杰 袁兆林 付玉军 祖小涛

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Ti离子注入和退火对ZnS薄膜结构和光学性质的影响

苏海桥, 薛书文, 陈猛, 李志杰, 袁兆林, 付玉军, 祖小涛

Effects of Ti ion implantation and post-thermal annealing on the structural and optical properties of ZnS films

Su Hai-Qiao, Xue Shu-Wen, Chen Meng, Li Zhi-Jie, Yuan Zhao-Lin, Fu Yu-Jun, Zu Xiao-Tao
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-06-23
  • 修回日期:  2009-02-11
  • 刊出日期:  2009-05-05

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