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非平衡磁控溅射双势阱静电波动及其共振耦合

牟宗信 牟晓东 贾莉 王春 董闯

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非平衡磁控溅射双势阱静电波动及其共振耦合

牟宗信, 牟晓东, 贾莉, 王春, 董闯

Electrostatic oscillation and coupling resonance in double trap of unbalanced magnetron sputtering

Mu Zong-Xin, Mu Xiao-Dong, Jia Li, Wang Chun, Dong Chuang
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-01-14
  • 修回日期:  2010-01-31
  • 刊出日期:  2010-05-05

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