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电阻热蒸发镀膜与电子束蒸发镀膜对纳米球刻蚀方法制备二维银纳米阵列结构的影响

罗银燕 朱贤方

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电阻热蒸发镀膜与电子束蒸发镀膜对纳米球刻蚀方法制备二维银纳米阵列结构的影响

罗银燕, 朱贤方

Effects of thermal evaporation and electron beam evaporation on two-dimensional patterned Ag nanostructure during nanosphere lithography

Luo Yin-Yan, Zhu Xian-Fang
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-08-16
  • 修回日期:  2011-02-25
  • 刊出日期:  2011-04-05

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