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四光束干涉单次曝光构造含平面缺陷三维周期性微纳结构

陈小军 张自丽 葛辉良

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四光束干涉单次曝光构造含平面缺陷三维周期性微纳结构

陈小军, 张自丽, 葛辉良

Fabricating three-dimensional periodic micro-structure with planar defects via a single exposure

Chen Xiao-Jun, Zhang Zi-Li, Ge Hui-Liang
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-02-29
  • 修回日期:  2012-06-07
  • 刊出日期:  2012-09-05

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