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射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响

李红轩 徐 洮 陈建敏 周惠娣 刘惠文

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射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响

李红轩, 徐 洮, 陈建敏, 周惠娣, 刘惠文

Effect of RF power on the structure and properties of diamond-like carbon films

Li Hong-Xuan, Xu Tao, Chen Jian-Min, Zhou Hui-Di, Liu Hui-Wen
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-06-08
  • 修回日期:  2004-07-23
  • 刊出日期:  2005-02-05

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