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低温制备微晶硅薄膜生长机制的研究

谷锦华 周玉琴 朱美芳 李国华 丁 琨 周炳卿 刘丰珍 刘金龙 张群芳

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低温制备微晶硅薄膜生长机制的研究

谷锦华, 周玉琴, 朱美芳, 李国华, 丁 琨, 周炳卿, 刘丰珍, 刘金龙, 张群芳

Study on growth mechanism of low-temperature prepared microcrystalline Si thin f ilms

Gu Jin-Hua, Zhou Yu-Qin, Zhu Mei-Fang, Li Guo-Hua, Ding Kun, Zhou Bing-Qing, Liu Feng-Zhen, Liu Jin-Long, Zhang Qun-Fang
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-07-02
  • 修回日期:  2004-12-02
  • 刊出日期:  2005-02-05

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