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利用多层膜生长技术制备纳米印章模板

张永军 李 卫 孟祥东 杨景海 华 中 李 伟 徐 骏 黄信凡 陈坤基

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利用多层膜生长技术制备纳米印章模板

张永军, 李 卫, 孟祥东, 杨景海, 华 中, 李 伟, 徐 骏, 黄信凡, 陈坤基

Fabrication of nanoimprint mold by multilayer film deposition technique

Zhang Yong-Jun, Li Wei, Meng Xiang-Dong, Yang Jing-Hai, Hua Zhong, Xu Jun, Huang Xin-Fan, Chen Kun-Ji,
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-08-16
  • 修回日期:  2005-11-16
  • 刊出日期:  2006-02-05

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