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聚焦离子束研制半导体材料光子晶体

许兴胜 熊志刚 金爱子 陈弘达 张道中

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聚焦离子束研制半导体材料光子晶体

许兴胜, 熊志刚, 金爱子, 陈弘达, 张道中

Fabrication of photonic crystal on semiconductor materials by using focued ion-beam

Xu Xing-Sheng, Xiong Zhi-Gang, Jin Ai-Zi, Chen Hong-Da, Zhang Dao-Zhong
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出版历程
  • 收稿日期:  2006-06-07
  • 修回日期:  2006-09-18
  • 刊出日期:  2007-01-05

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