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低温退火对重掺砷直拉硅片的氧沉淀形核的作用

奚光平 马向阳 田达晰 曾俞衡 宫龙飞 杨德仁

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低温退火对重掺砷直拉硅片的氧沉淀形核的作用

奚光平, 马向阳, 田达晰, 曾俞衡, 宫龙飞, 杨德仁

Effects of low-temperature annealing on oxygen precipitate nucleation in heavily arsenic-doped Czochralski silicon

Xi Guang-Ping, Ma Xiang-Yang, Tian Da-Xi, Zeng Yu-Heng, Gong Long-Fei, Yang De-Ren
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-04-09
  • 修回日期:  2008-05-12
  • 刊出日期:  2008-11-20

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